Los microscopios de Inspección Olympics Semiconductor / fpd mx63 y mx63l están optimizados para la inspección de alta calidad de obleas de hasta 300 mm, pantallas planas, placas de circuito y otras muestras grandes. Su diseño modular le permite elegir los componentes que necesitan personalizar el sistema a la Aplicación. La microscopía de inspección de semiconductores / fpd del olimpo, combinada con el software de análisis de imágenes de flujo del olimpo, simplifica todo su flujo de trabajo, desde la observación hasta la creación del informe.

Herramientas de análisis de vanguardia

La capacidad de observación multifuncional de la serie mx63 proporciona imágenes claras y claras, por lo que los usuarios pueden detectar defectos en las muestras de manera confiable. Las nuevas tecnologías de iluminación y las opciones de adquisición de imágenes en el software de análisis de imágenes de flujo del Olimpo dan a los usuarios más opciones para evaluar sus muestras y registrar sus hallazgos.

Invisible se vuelve visible: observación y adquisición mixtas

La tecnología de observación híbrida produce imágenes de observación únicas combinando campos oscuros con otro método de observación, como campos brillantes, fluorescencia o polarización. La observación mixta permite a los usuarios ver defectos que son difíciles de ver con un microscopio convencional. El iluminador LED circular para la observación de campo oscuro tiene una función de campo oscuro direccional, en la que solo se ilumina un cuadrante en un momento dado. Esto reduce el halo de la muestra y ayuda a visualizar la textura de la superficie de la muestra.

Estructura de las obleas semiconductoras

Residuos fotorresistentes en obleas semiconductoras

Crear fácilmente imágenes panorámicas: mia instantánea

Con múltiples alineaciones de imágenes (mia), los usuarios pueden empalmar las imágenes de forma rápida y fácil simplemente moviendo la perilla KY durante la fase manual, sin que sea necesaria una plataforma eléctrica. El software de flujo olímpico utiliza el reconocimiento de patrones para generar imágenes panorámicas, dando a los usuarios una visión más amplia.

Crear todas las imágenes de enfoque: EFE

La función de imágenes de enfoque extendido (efi) en el flujo del Olimpo Captura imágenes de muestras cuya altura se extiende más allá de la profundidad de enfoque del objetivo y las superpone para crear una imagen enfocada en su totalidad. El EFE se puede ejecutar manualmente o con un eje Z eléctrico y crear un mapa de altura que facilite la visualización estructural. También se pueden construir imágenes EFI fuera de línea en el escritorio de flujo.

Capturar zonas brillantes y oscuras con HDR

Utilizando el procesamiento avanzado de imágenes, el rango dinámico alto (hdr) ajusta las diferencias de brillo en la imagen para reducir el deslumbramiento. El HDR mejora la calidad visual de las imágenes digitales, ayudando así a generar informes profesionales.

De la medición básica al análisis

La medición es esencial para el control de calidad y el proceso y la inspección. Teniendo esto en cuenta, incluso el paquete de software de flujo Olímpico de nivel básico incluye un menú completo de funciones de medición interactivas, y todos los resultados de medición se guardan en un archivo de imagen para más documentos. Además, la solución de materiales de flujo del Olimpo ofrece una interfaz intuitiva y orientada al flujo de trabajo para análisis de imágenes complejos. Al hacer clic en un botón, las tareas de análisis de imágenes se pueden realizar de manera rápida y precisa. A medida que el tiempo de procesamiento de las tareas repetidas disminuye significativamente, el operador puede concentrarse en las inspecciones a Mano.

Generación de informes

La creación de informes suele tardar más que la captura de imágenes y mediciones. El software Olympics Stream proporciona una creación intuitiva de informes para generar informes inteligentes y complejos de forma repetida a partir de plantillas predefinidas. La edición es sencilla y el informe se puede exportar al software Microsoft Word o powerpoint. Además, la función de notificación del software de flujo olímpico permite ampliar y ampliar digitalmente la adquisición de imágenes. El archivo de informe es un tamaño razonable para facilitar el intercambio de datos por correo electrónico.

Opciones de cámara independientes

Con cámaras de microscopía DP22 o dp27, la serie mx63 se ha convertido en un sistema avanzado e independiente. La Cámara se puede controlar a través de una caja compacta que solo necesita un espacio más pequeño, ayudando a los usuarios a aprovechar al máximo el espacio de laboratorio, al tiempo que capta imágenes claras y realiza mediciones básicas.

Diseño compatible con cleanroom conformity

El diseño de la serie mx63 funciona en salas limpias y ayuda a reducir el riesgo de contaminación o daños en las muestras. El sistema tiene un diseño ergonómico que ayuda a los usuarios a sentirse cómodos, incluso si se usa durante mucho tiempo. La serie mx63 cumple con las normas y estándares internacionales, incluidos los semis2 / s8, CE y ul.

Integración opcional del cargador de chips - sistema al120%

El cargador de obleas opcional se puede conectar a la serie mx63 para transferir chips de silicio y semiconductores compuestos de casetes a la fase de microscopía sin usar pinzas o varillas. Excelente rendimiento y fiabilidad, permite macroinspecciones frontales y traseras efectivas, mientras que las cargadoras ayudan a mejorar la productividad de los laboratorios.

El mx63 combinado con el cargador de chips al120 (versión de 200 mm) * e120 no está disponible en la emea.

Inspección de limpieza rápida

La serie mx63 cumple con la inspección de chips de cámara libre de polvo. Todos los componentes motorizados adoptan una estructura blindada y aplican el tratamiento antiestático a soportes de microscopía, tubos, máscaras respiratorias y otros componentes. Las alas nasales motorizadas giran más rápido que las alas nasales manuales, reduciendo el tiempo de inspección, manteniendo la mano del operador por debajo del CHIP y reduciendo la contaminación potencial.

Diseño del sistema para lograr una observación efectiva

Debido a la combinación de embrague incorporado y Perilla xy, la clase XY puede realizar movimientos gruesos y finos en dos etapas al mismo tiempo. Esta fase ayuda a observar la eficiencia, incluso para muestras grandes, como chips de 300 mm.La amplia gama de tubos de observación inclinados permite al operador sentarse bajo el microscopio en una postura cómoda.

Aceptar todos los tamaños de obleas

El sistema está equipado con diversos tipos de titulares de obleas de 150 - 200 mm y 200 - 300 mm y placas de vidrio. Si el tamaño del chip cambia en la línea de producción, el marco del microscopio se puede modificar a un costo menor. Con la serie mx63, se pueden utilizar diferentes etapas para acomodar líneas de Inspección en chips de 75 mm, 100 mm, 125 mm y 150 mm.

Control del microscopio intuitivo: cómodo y fácil de usar

La configuración del microscopio es fácil de operar, lo que facilita al usuario ajustar y reproducir la configuración del sistema.

Encontrar rápidamente el foco: asistencia de enfoque

La inserción de dispositivos auxiliares de enfoque en el camino óptico puede centrarse fácilmente y con precisión en muestras de bajo contraste, como las hojas desnudas.

Fácil recuperación de la configuración del microscopio: hardware de Codificación

La función de codificación combina la configuración de hardware de la serie mx63 con el software de análisis de imágenes de flujo del olimpo. El método de observación, la intensidad de la iluminación y la amplificación son registrados automáticamente por el software y almacenados en la imagen relevante. Debido a que la configuración se puede reproducir fácilmente, cualquier operador puede realizar las mismas inspecciones de calidad y entrenamiento mínimo.

Control ergonómico más rápido y operación más cómoda

El dispositivo de control para cambiar el objetivo y ajustar la apertura se encuentra bajo el microscopio, por lo que el usuario no tiene que soltar la perilla de enfoque o mover la cabeza fuera de las gafas durante su uso.

Observación más rápida a través del gestor de intensidad óptica y el control automático de apertura

Bajo un microscopio normal, cada observador necesita ajustar la intensidad y la apertura de la luz. La serie mx63 permite a los usuarios establecer condiciones de intensidad y apertura para diferentes amplitudes y métodos de observación. Estas configuraciones se pueden retirar fácilmente, ayudando a los usuarios a ahorrar tiempo y mantener una excelente calidad de imagen.

Gestor de intensidad luminosa

Intensidad de la luz convencional	Al cambiar el aumento o el método de observación, la imagen se vuelve demasiado brillante o tenue.
Gestor de intensidad luminosa	Al cambiar el aumento o la observación, la intensidad de la luz se ajusta automáticamente para producir una imagen excelente.

Control automático de apertura

Inspección de la calidad de las imágenes ópticas y digitales

La historia del desarrollo del Olimpo de una óptica de alta calidad y capacidades avanzadas de imagen digital ha demostrado la calidad óptica y el registro de microscopios que ofrecen una excelente precisión de medición.

Excelentes propiedades ópticas: control de la distorsión frontal de onda

Las propiedades ópticas del objetivo afectan directamente la calidad de la imagen observada y los resultados del análisis. El objetivo de alta potencia uis2 del Olimpo está diseñado para minimizar la distorsión del Frente de onda y proporcionar un rendimiento óptico confiable.

Frente de onda malo y frente de onda bueno (objetivo uis2)

Temperatura de color uniforme: iluminación LED blanca de alta intensidad

La serie mx63 utiliza una fuente de Luz LED blanca de alta intensidad para reflejar y transmitir la iluminación. Los LED mantienen una temperatura de color consistente, independientemente de la intensidad, para garantizar una calidad de imagen confiable y una reproducción de color. El sistema LED proporciona materiales de iluminación eficientes y de larga vida útil, adecuados para aplicaciones científicas de materiales.

Medición precisa: calibración automática

Al igual que el microscopio digital, la calibración automática está disponible cuando se utiliza el software de flujo del olimpo. La calibración automática ayuda a eliminar la variabilidad humana durante el proceso de calibración, lo que conduce a mediciones más confiables. La calibración automática utiliza un algoritmo que calcula automáticamente la calibración correcta a partir de la media de varios puntos de medición. Esto reduce en gran medida las diferencias introducidas por los diferentes operadores y mantiene una precisión consistente, mejorando la fiabilidad de las verificaciones periódicas.

Imagen completamente clara: corrección de sombra de imagen

El software de flujo olímpico se caracteriza por la corrección de sombras para adaptarse a las sombras en las esquinas de la imagen. Cuando se utiliza junto con la configuración del umbral de intensidad, la corrección de sombra proporciona un análisis más preciso.

Chip Semiconductor (imagen binaria)

Completamente personalizable

El objetivo de la serie mx63 es permitir a los clientes seleccionar una variedad de componentes ópticos para adaptarse a las necesidades individuales de inspección y aplicación. El sistema puede utilizar todos los métodos de observación. Los usuarios también pueden elegir entre varios paquetes de software de análisis de imágenes de flujo olímpico para satisfacer las necesidades de adquisición y análisis de imágenes personales.

Dos sistemas adaptados a diferentes tamaños de muestra

El sistema mx63 puede acomodar hasta 200 mm de chips, mientras que el sistema mx63l puede procesar hasta 300 mm de chips con la misma pequeña huella que el sistema mx63. El diseño modular le permite personalizar el microscopio de acuerdo con sus requisitos específicos.

Compatibilidad infrarroja

Las lentes infrarrojas se pueden realizar utilizando lentes infrarrojas, lo que permite al operador detectar sin daños el interior del chip IC encapsulado e instalado en el pcb, aprovechando las características del silicio que transmite el infrarrojo. Los objetivos infrarrojos de 5X a 100x se pueden corregir mediante la longitud de onda de la luz visible de infrarrojo cercano.

La serie mx63 se utiliza en el campo de aplicación de microscopios de luz reflejada. Estas aplicaciones son un ejemplo de algunos de los métodos utilizados por el sistema para la inspección industrial.

El infrarrojo (ir) se utiliza para encontrar otros defectos en chips IC y dispositivos de silicio en vidrio.

La luz polarizada se utiliza para revelar la textura de la materia y el Estado del cristal. Es adecuado para la inspección de láminas de cristal y estructuras lcd.

El contraste de interferencia diferencial (tic) se utiliza para ayudar a las diferencias entre las vistas y las pequeñas muestras. Es ideal que las muestras de inspecciones universitarias tengan grandes diferencias como cabezales de minutos, medios de disco duro y chips politizados.

El campo oscuro se utiliza para detectar pequeños arañazos o defectos en la muestra, o para detectar la muestra con un espejo, como un chip. La iluminación mixta permite a los usuarios ver modos y colores.

La fluorescencia se utiliza en muestras que emiten luz cuando se iluminan con filtros especialmente diseñados. Esto se utiliza para detectar residuos de contaminantes y fotorresistentes. La iluminación mixta puede observar los residuos de fotorresistentes y los patrones ic.

Esta técnica de observación es adecuada para muestras transparentes, como lcd, plásticos y materiales de vidrio. La iluminación mixta puede observar el color del filtro y el patrón del circuito.

La solución de microscopía de examen Semiconductor / fpd del Olimpo mx63 / mx63l parámetros de configuración

		MX63	MX63L
Sistema óptico		Sistema óptico uis2 (corrección infinitamente lejana)
Mostrar Micro Espejo Máquina Estante	Iluminación reflectante	Lámpara led, Lámpara halógena 12v100w, lámpara de mercurio 100W Modo de iluminación: campo abierto, campo oscuro Apertura eléctrica incorporada Métodos de observación: campo brillante, campo oscuro, interferencia diferencial (cid), polarización simple, fluorescencia, infrarrojo
	Iluminación de luz transmitida	Dispositivo de iluminación de luz transmitida: MX - Tilla o MX - tillb - MX - tilla:: apertura na0.5 - MX - tillb: apertura na0.6 Fuente de luz: lg - PS2 (lámpara halógena 12 / v100 w) Modo de observación: campo brillante, polarización simple
	Enfoque	Recorrido: 32 mm Recorrido de ajuste fino por revolución: 100 micras Escala pequeña zui: 1 μm Equipado con un límite superior para el ajuste de par del mango de ajuste grueso
	Límite superior de carga (incluido el estante)	8 kg	15 kg
Ver Observar Tubo	Campo de visión amplio (fn 22 mm)	Como tres ojos: u - etr4 Imagen positiva, tres ojos inclinados: u - TTR - 2 Tres ojos invertidos: u - tr30 - 2, u - tr30ir (observación infrarroja) Binocular invertido: u - bi30 - 2 Binoculares invertidos e inclinados: u - tbi30
	Visión ultraancha （FN 26.5 mm）	Imagen positiva, tres ojos inclinados: MX - swettr relación de División de luz 100%: 0 o 0: 100%) Tres ojos positivos e inclinados: u - swettr 100%: 0 o 20%: 80%) Tres ojos invertidos: u - swtr - 3
Convertidor de lentes		Convertidor eléctrico de seis agujeros de mingchang con ranura tic: u - d6remc Convertidor de cinco agujeros de campo brillante con ranura de centrado automático tic: u - p5remc Convertidor eléctrico de seis agujeros de campo abierto y oscuro con ranura tic: u - d6bdremc Convertidor de cinco agujeros de campo oscuro con ranura tic: u - d5bdremc Convertidor de cinco agujeros de campo claro y oscuro con ranura de centrado automático tic: u - p5bdremc
Plataforma de carga		Accionamiento de embrague incorporado, Mango derecho concéntrico: MX-SIC8R Recorrido: 210 x 210 mm Zona de transmisión de luz: 189 x 189 mm Accionamiento de embrague incorporado, Mango derecho concéntrico: MX-SIC6R2 Recorrido: 158 x 158 mm (uso de luz reflejada)	Accionamiento de embrague incorporado, Mango derecho concéntrico: MX-SIC1412R2 Recorrido: 356 x 305 mm Zona de transmisión de luz: 356 x 284 mm
Peso		Aproximadamente: 35,6 kg (26 kg en el bastidor del microscopio)	Aproximadamente: 44 kg (marco del microscopio 28,5 kg)

Nota: el contenido de la tabla de parámetros es la introducción de los principales parámetros, realesSegúnLas necesidades se configuran.