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Sistema de inspección de obleas olímpicas de 8 pulgadas
El sistema de inspección de obleas olímpicas de 8 pulgadas puede corresponder a obleas de silicio y compuestos de menos de 200 mm de tama?o de obleas,
Detalles del producto

8寸奥林巴斯晶圆检查系统

Características del sistema de inspección de obleas del Olimpo de 8 pulgadas

● amplia gama de adaptación y combinación flexible, el sistema de inspección de obleas olímpicas de 8 pulgadas es altamente práctico y confiable.

● El sistema de inspección de obleas del Olimpo de 8 pulgadas transmite pastillas de silicio de varios tamaños

Basado en el tamaño de las pastillas de silicio, el sistema de inspección de obleas de la serie al120 tiene tres modelos básicos, compatibles con un solo 200 mm (al120 - l8), 150 mm y 200 mm (al120 - l86), un solo 150 mm o menos (al120 - l6). Cada uno está diseñado para transmitir pastillas de silicio que han sido examinadas por microscopía. Tanto el macroexamen frontal como el macroexamen posterior son aplicables a las pastillas de silicio de varios tamaños.

晶圆检查系统传输各种尺寸的硅片

● El sistema de inspección de obleas olímpicas de 8 pulgadas puede transmitir pastillas de silicio ultrafinas, es decir, tan delgadas como 90 um

Para hacer frente a las pastillas de silicio ultrafinas más desafiantes, el sistema de inspección de obleas del Olimpo ha diseñado especialmente un brazo de transmisión que puede hacer frente a 25 cajas de 200 mm en paquetes y pastillas de silicio tan delgadas como 90 um, y completar la transmisión segura y la microscopía. La información de silicio de hasta 10 grosores diferentes se puede preestablecer a través del panel.

● capacidad de precisión para mejorar la función de los exámenes macroeconómicos

La nueva máquina con función de macroinspección (modelo lmb) tiene una rotación automática de 360 grados para completar cada macroinspección de la silicio. Este diseño permite detectar fácilmente defectos y partículas en el lado positivo y negativo de las pastillas de silicio. Además, se puede realizar un macroexamen inclinando la pastilla de silicio 30 grados utilizando un joystick.

晶圆360°检测显微镜

● la pantalla LCD proporciona precisión y facilidad de operación

La pantalla LCD proporciona una sensación visual más intuitiva para el operador, lo que hace que el proyecto de inspección y el orden del sistema de inspección de obleas del Olimpo sean claros de un vistazo, así como los parámetros necesarios para la instalación y puesta en marcha. Los resultados de la inspección, incluidas las marcas de defectos macro y micro introducidas por el operador, se pueden mostrar en la pantalla LCD para facilitar la revisión del operador.

晶圆检查系统LCD显示屏

● fiabilidad precisa

Para la seguridad de las pastillas de silicio, el sistema de inspección de obleas de la serie al120 utiliza dos nuevos métodos de detección de pastillas de silicio: el grosor de las pastillas de silicio y la ubicación en la Caja. Escanee la posición de las pastillas de silicio en la Caja antes de la transmisión. La función de bloqueo automático de la Plataforma de carga comprada mejora la seguridad de la transmisión de pastillas de silicio a la Plataforma de carga al vacío.

● microscopía potente y confiable

El microscopio de examen de semiconductores del Olimpo mx61 puede presentar imágenes de alta definición y alta resolución A través de diferentes métodos de observación: campo brillante, campo oscuro, interferencia diferencial, infrarrojo y ultravioleta profunda. Equipado con una placa giratoria de lente eléctrica, la onda óptica de apertura del cuerpo principal del microscopio tiene una función de enlace, y cada vez que se cambia la lente, la onda óptica de apertura también se cambiará automáticamente.

● cumplir con los estándares semi S2 / S8 y RoHS

El diseño del sistema de inspección de obleas de la serie al120 no solo presta atención a la seguridad de las pastillas de silicio en transmisión, sino que también garantiza la seguridad del operador, que cumple plenamente con los estándares S2 y S8 de semi, pero también cumple con los estándares rohs.

Especificaciones técnicas del sistema de inspección de obleas del Olimpo de 8 pulgadas

Modelo

AL120-LMB12-LP

AL120-LMB12-F

Tamaño de la obleas

300 mm (semi m1,15 t = 775 μm) opcional: 200 mm

Número de cajas de tarjetas

Caja única (carga y descarga)

La Caja de tarjetas establece la altura

900 mm

Puerto de carga

Ninguno

Orden de manipulación

Macroscopia superficial, macroscopia interna, Microscopía

Modo de Inspección

Todas las inspecciones, inspecciones por muestreo

Calibración de obleas

Anillo central sin contacto

Método de manipulación de obleas

Manipulación mecánica de adsorción al vacío

Microscopio aplicable

Microscopio de inspección de semiconductores mx61l

Entorno de aplicación

AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz , Vacío - 67 ~ - 80 kPa

Plataforma de carga

La Mesa de carga de succión manual XY tiene un mecanismo de ajuste / ajuste grueso XY y rotación de 360 grados.

Peso (excluyendo el microscopio)

Unos 360 kg

Unos 270 kg

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